美國MASSVAC 355051型過濾器產品介紹
美國MASSVAC 355051型過濾器可以保護泵免受腐蝕性化學品和磨料顆粒存在于您的真空系統。它的特點是有一個三級的污水收集系統:第一級在大面積的表面上撞擊重顆粒,凝結揮發性固體和液體;第二級和第三級含有兩個平行的過濾元件,可以定制來去除腐蝕性化學品和微粒。水或制冷劑冷卻的配件,使第一階段更有效的凝結。
保護油封真空泵和干真空泵
清除可能破壞真空泵的腐蝕性和磨料
諸如 Pecvd, 角 , 莫卡德夫, 金屬蝕刻 和 HVPE。
模塊化設計使設備易于拆卸和清潔
元素替換是快速和容易的
提供水或制冷劑冷卻選擇
美國MASSVAC 355051型過濾器可配置為許多不同的裝置,從重顆粒應用到那些產生可凝結或有機蒸氣。
第一階段撞擊重顆粒和一些壓縮物
冷卻線圈去除更多的壓縮物,降低氣體溫度
第2階段墨盒元件使第一次過濾通過
第3階段元素去除更細的微粒
煤氣出口
現在提供了一個新的配置,其特點是單一的高容量、高效率的微粒過濾器,用于產生大量微粒的過程。這個大的過濾器,13"高x14"直徑,是由高溫褶皺聚酯材料,提供40平方英尺。金融時報每平方米顆粒保留量60克的面積。金融時報這些過濾器可以獲得25微米和100微米的評級,提供99%的粒子效率評級。這種大面積的表面積和顆粒保留率的結合,使其非常適合用于保護用于LPCVD、PECVD和ALD的半導體晶圓結構的真空泵。
該多拉桿直徑為16",電導等級大于2000CFM@1托爾,全304不銹鋼結構,具有ISO-160端口,以直角和直通式配置。現有裝置也有可選的冷卻配件、濾罩和改裝工具包。可添加陷阱堆疊模塊,以大大增加容量。
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